يتم استخدام محلل فورييه لتحويل الأشعة تحت الحمراء الطيفي (FTIR) في صناعة تصنيع أشباه الموصلات. FTIR عبارة عن أداة تحليل طيفي تستخدم التحليل الطيفي للأشعة تحت الحمراء لتحليل تركيز الشوائب من خلال تحويل فورييه. يتكون مقياس الطيف بشكل أساسي من مصدر ضوء (قضيب كربون السيليكون، مصباح زئبق عالي الضغط)، ومقياس تداخل ميكلسون، وكاشف، ومقياس تداخل
يتم موازنة ضوء الأشعة تحت الحمراء المنبعث من مصدر ضوء الأشعة تحت الحمراء S في شعاع الأشعة تحت الحمراء الموازي ويدخل إلى نظام التداخل. وبعد التعديل بواسطة مقياس التداخل، يتم الحصول على شعاع من ضوء التداخل. يمر ضوء التداخل عبر العينة Sa ليحصل على إشارة تداخل تحتوي على معلومات طيفية تصل إلى الكاشف D ومن ثم يتم تحويلها إلى إشارة كهربائية بواسطة D. إشارة التداخل هنا هي دالة زمنية وهي نمط التداخل المرسوم بواسطة إشارة التداخل ومحورها الأفقي هو الزمن أو المسافة المتحركة للمرآة المتحركة. يتم إرسال نمط التداخل هذا إلى الكمبيوتر من خلال محول A/D، ويقوم الكمبيوتر بإجراء حسابات تحويل فورييه سريعة للحصول على طيف الأشعة تحت الحمراء مع رقم موجي كمحور أفقي. ثم يتم إرسالها إلى الراسمة من خلال محول D/A لرسم طيف امتصاص قياسي للأشعة تحت الحمراء مألوف جدًا.
ما هو FTIR؟
Sep 28, 2024
إرسال التحقيق

